DIN 50450-3-1991 半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第3部分:用火焰电离检验测器测定氢(下标2)、氧(下标2)、氮(下标2)、氩、氦中的甲烷杂质
作者:标准资料网 时间:2024-05-15 14:59:01 浏览:9247
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopinggases;determinationofmethaneimpurityinH,O,N,ArandHebyusingaflameionizationdetector(FID)
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第3部分:用火焰电离检验测器测定氢(下标2)、氧(下标2)、氮(下标2)、氩、氦中的甲烷杂质
【标准号】:DIN50450-3-1991
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1991-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;氦;材料;甲烷;半导体工程;氩;材料试验;半导体材料;分析;半导体工艺;杂质;化学分析和试验;掺杂剂;氧;体积;含量测定;气体;半导体;含量;化工品;载气;掺杂气体;氮;氢;容积测量
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第3部分:用火焰电离检验测器测定氢(下标2)、氧(下标2)、氮(下标2)、氩、氦中的甲烷杂质
【标准号】:DIN50450-3-1991
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1991-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;氦;材料;甲烷;半导体工程;氩;材料试验;半导体材料;分析;半导体工艺;杂质;化学分析和试验;掺杂剂;氧;体积;含量测定;气体;半导体;含量;化工品;载气;掺杂气体;氮;氢;容积测量
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
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